MEMS是Micro-electro-mechanical-Systems的英文缩写，它是经过光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微机电加工等工艺加工制作的高科技电子机械器件，用硅做的比较多。 随着MEMS技术(硅微机械加工技术)的迅猛发展,各种基于MEMS技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应

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