MEMS的全称是微型电子机械系统 利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 具有小体积、低成本、集成化等特点 。 MEMS工作原理图 MEMS传感器的应

传感器随机误差与系统误差的区别和联系 随机误差是许多微小的、独立的、不可分割的系统误差的统计综合。或者说，它是多种因素造成的许多微小误差的总和。 显然，它的产生是由于各种互不相关的独立因素围绕其平均值产生随机起伏。例如，电磁场的变化、环境温

任何物体只要在绝对零度以上时，都会以一定的波长向外辐射能量，只是在低温段的辐射能量很弱。 常温下，自然界的所有物体都是红外辐射的发射源，只是红外辐射的波长不同。例如，人体温度37℃，红外辐射波长为9~10m；400～700℃物体的红外辐射波长为3~5m。 非

近年国内燃气表市场容量高达千万台，据估算，总市场空间超400亿元，燃气表市场前景广阔、大有可为。市场现有燃气表多为皮膜式机械表，随着热量计量、能量计量方式的兴起，超声波燃气表或热式质量流量表将后来居上成为主流，本文将对热式流量质量表的技术进展

导读： MEMS是Micro-electro-mechanical-Systems的英文缩写，用硅做的比较多。它是经过光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微机电加工等工艺加工制作的高科技电子机械器件。 01、国内外MEMS流量检测芯片介绍 MEMS热式流量检测原理 MEMS 流量检测芯片由两个温度传感器