煤矿井下采掘过程中从煤岩中涌出的有害气体总称为瓦斯，瓦斯的主要成分是CO、H2S、CH4等烃类化合物。近年来，我国煤矿多次发生井下事故，伤亡人数超过全部重大事故伤亡人数的一半。常见的井下瓦斯灾害主要有三种不同的类型：瓦斯爆炸、瓦斯突出和瓦斯燃烧。

机器是改造世界的工具，仪器是认识世界的工具。仪器是工业生产的倍增器，是科学研究的先行官，是军事上的战斗力，是现代社会活动的物化法官。这是著名科学家、两院院士王大珩先生曾经指出的，由此可见，仪器在当今时代推动科学技术和国民经济的发展具有非常

显微镜下的MEMS结构（注意图上刻度是微米） MEMS应用范围很广，封装应根据实际终端应用要求（如保护性、气密性、散热性等）进行设计。 消费电子/移动应用驱动MEMS市场快速成长，复合年增长率可达13%。 ◆ 未来5年通信和医疗应用增长最快，复合年增长率高达20

MEMS技术是一个虽有历史但充满年轻活力的技术，诞生于半个世纪以前，兴起于二十年前。小小的MEMS有着大大的玄机，与大家耳熟能详的半导体技术息息相关，但其制造、设计、材料等工艺又独树一帜，迥异于传统的半导体工艺。 一、什么是MEMS MEMS的概念于20世纪5

摘要：为了实现电流传感器在配电网中的覆盖使用，电流传感器朝着小型化、低成本、性能可靠和易安装维护方向发展，基于三维感应线圈的新型 MEMS电流传感器 便被研究出来了，它可立体检测配电网电流。 近年来，随着半导体和微电子技术的发展，基于MEMS的电流传