小型化低功耗新型MEMS传感器的技术平台

时间:2017-11-09 15:18来源:www.wssensor.net 作者:郑州炜盛科技 点击:

前日,领先的微机电系统(MEMS)和传感器代工厂Micralyne在日本“MEMS传感和网络系统展会”上展示了用于开发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。该新平台扩展了Micralyne现有的标准MEMS模块,并为设计人员提供了实现当前气体传感器目标市场所需的小型化、低功耗气体检测结构的方案。

气体传感器市场正在发生巨大变化,主要由大量的消费类应驱动发展,例如应用于物联网领域的各种智能家居和可穿戴设备,实现周围环境空气质量的监测。现有的气体检测技术正在经历新的技术挑战,如成本大幅下降、功率低、选择性提高、不同类型的气体检测,以及较宽的工作温度。