MEMS的关键技术驱动因素和技术发展路障

时间:2020-10-30 13:11来源:传感器专家网 作者:郑州炜盛科技 点击:

MEMS的关键技术驱动因素

灵敏度提高:MEMS传感器比传统传感器更敏感。这是MEMS传感器优于传统传感器的主要原因,尤其是在高精度和高精度的应用中。

小尺寸优势:紧凑是电子或机械设备市场的主流趋势。MEMS技术提供了在小面积内填充更多MEMS组件的能力,这可以降低特定产品的整体尺寸。具有多种功能的MEMS组件可以增强产品的能力,例如工业机器人。

成本:最初采用MEMS技术的主要驱动因素是成本。MEMS技术具有降低成本的巨大潜力,因为它可以很容易批量制造。例如,模拟设备公司的制造方法已经标准化,每年能运送数百万个加速计。与传统的传感器制造相比,该工艺流程简化,且所需的劳动力更少。

多用户MEMS工艺(MUMPS)是一种标准化的表面微机械加工技术,它是利用MEMSCAP中的多晶硅来制造MEMS器件的最廉价的制造技术之一。

硅是制造MEMS器件的主要材料,它可以使MEMS制造非常经济高效,因此利润非常可观。

MEMS发展的主要技术路障

MEMS技术需要大量的初始投资。由于在某些工业自动化应用中实现大规模的体积需求,企业可能不愿意对MEMS进行大规模投资。

MEMS技术也具有特殊的应用,因此存在着非常少量的标准化MEMS工艺。例如,压力传感器、加速度计、喷墨打印机、显示器和所有其他类型的MEMS都采用不同的工艺模块。因此,在设计、包装、测试和工具开发方面缺乏协同或合作。

最终,定制工艺在MEMS市场中最为普遍。尽管压力传感器和加速度计标准化工艺的发展正在开辟新的可能性,但高水平的知识产权阻碍了新MEMS器件的标准化。

封装技术仍然是MEMS传感器成功商业化的核心技术障碍。随着MEMS技术的应用日益特殊,MEMS器件的封装对于特定应用的封装将是一个重大挑战。