MEMS传感器器件中新型材料的新应用

时间:2018-05-07 13:36来源:www.wssensor.net 作者:郑州炜盛科技 点击:

MEMS(微机电系统)是一门综合学科,其涉及微加工技术、机械学、电子学等等。MEMS器件的大小从1毫米到1微米不等,其主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等,是微型传感器的主力军,正在逐渐取代传统机械传感器,被用在消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工、医药等多个领域。 目前,常见的MEMS传感器产品有压力传感器、加速度传感器、陀螺仪、静电致动光投影显示器、催化传感器、MEMS气体传感器等等。

为适应各种不同的工作环境,MEMS器件材料要尽可能适应多种复杂环境。因此,材料也成为了影响MEMS器件发展的重要因素之一,结合现有材料,更好地将MEMS结构与微电子集成,有利于创造成本更低效益更高的MEMS产品。